經過多年的積累，武漢凱芯通半導體技術有限公司可以為客戶提供高純/特氣供應系統、實驗室/研究院所供氣系統、大型氣體監測控制系統（GMS/GDS)、氣體管道工程、尾氣處理整體設計、安裝調試等一體式的工程服務。從選型咨詢、產品供應、技術支持、工程安裝、用戶培訓、客戶服務等，提供整套優質成熟的氣體解決方案。
特氣柜尺寸：
800mm長×540mm寬×1800mm高（可根據客戶要求定制）
控制柜尺寸：
800mm長×230mm寬×320mm高
特氣柜參數：
PN2入口壓力：80PSI，1/4 MALE VCR接口
GN2入口壓力：80PSI，1/4 MALE VCR接口
CDA入口壓力：4-10bar，1/4卡套接口
VENT出口：1/2VCR接口
工藝氣體出口：兩路1/4 MALE VCR接口
特氣柜柜體換氣量： SiH4-1200次/小時，其余300次/小時
電源：220V（半自動）
防爆玻璃觀察窗：標配
按瓶數分類：單瓶柜（架）/二瓶柜（架）
按操作方式分類：手動、半自動。
產品優勢：
氣路配件，接頭、閥門等全部是進口電子級材料，管道為316L，自動軌道焊接。
氣路設計合理完善，工作管路具備抽空、回充、壓力指示等功能，氣瓶柜留有排氣口，并具有負壓檢測。根據實際需要可安裝稱重、加熱等裝置。
氣瓶柜箱體采用安全設計，所選用的材料適用于各種不同性質的氣體，美觀，緊湊，安全，質優價廉，可按照客戶要求定制。
完善的安全報警裝置，具有氣體泄漏檢測報警（如SiH4、PH3、HCL等泄漏報警）報警信號被觸發時，自動切斷。
內部管路采用BA/EP級316L潔凈管路，VCR5件套，彎頭，三通，隔膜閥。
內部零件品牌有美國Swagelok, APTECH，PARKER,； 韓國 TK, UNI-LOK ；日本FJK, KITZ
交貨期短，常用配件備有大量庫存。
完善的售前、售后服務，贏得客戶認可。
產品應用：可以為 MOCVD、PECVD、刻蝕機等設備配套，應用于半導體、太陽能電池、生物工程、微電子等行業。
